Analyse électrique de diélectriques SiOCH poreux pour évaluer la fiabilité des interconnexions avancées, Electrical analysis of porous SiOCH dielectrics to evaluate reliability of advanced interconnects
Virginie Verriere
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Analyse électrique de diélectriques SiOCH poreux pour évaluer la fiabilité des interconnexions avancées, Electrical analysis of porous SiOCH dielectrics to evaluate reliability of advanced interconnects