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Evaluation des performances isolantes de couches de SIOCH poreuses et de polymères destinés aux technologies d'intégration innovantes, Dielectric characterization of porous SiOCH and polymer films used in state-of-the-art integration technologies
Christelle Dubois
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Evaluation des performances isolantes de couches de SIOCH poreuses et de polymères destinés aux technologies d'intégration innovantes, Dielectric characterization of porous SiOCH and polymer films used in state-of-the-art integration technologies
Christelle Dubois
156 pages
Français